MEMS传感器晶圆干燥加热器

一种更高效的MEMS晶圆干燥方式（同时还能节省能源） 在干燥MEMS传感器晶圆时，其实就像在走钢丝一样——必须彻底去除所有水分，但若力度过大，就会破坏那些极其精细的微结构。 传统的干燥方式是使用对流烤箱。但问题在于，这种烤箱需要消耗大量能量来加热整个腔室内的空气，实在是一种浪费。 我们找到了更好的...