在芯片制造厂中减少碳排放：为何精准的红外加热如此有效 如今，大家都在谈论“绿色工厂”的概念。但如果你经营的是半导体制造厂，你就知道，要减少碳排放，关键在于如何控制热量。 传统的电阻式加热器其实很浪费能源——它们会加热整个空间，包括腔室、空气以及墙壁，基本上除了那些真正需要加热的部件之外，其他地方都...

在光刻厂中，感光材料的烘烤过程并非简单的预热步骤，而是一个至关重要的工艺环节。如果在软烘阶段温度出现2°C的波动，就可能导致晶圆上各处的尺寸出现偏差。因此，我们设计了高精度的红外加热器，以确保温度能够精确控制在关键范围内。 从技术角度来看，什么才是最重要的？ 我们使用短波近红外光源，其辐射效率非常...