洁净室烤箱红外加热器
停止在晶圆加工过程中浪费热量 说实话,在洁净室里浪费能源简直就是一场噩梦。在加热硅晶圆时,我们希望所有的红外能量都能作用于晶圆上,而不应被浪费掉,让烤箱变成一个巨大的散热器。
因此,我们使用镀金反射器。虽然听起来很复杂,但实际上原理很简单。
为什么选择黄金? 大多数人最初会使用铝制反射器,但问题在...
洁净室红外线加热器
防止碎片飞溅:保护晶圆免受红外灯故障的损害 说实话,红外灯发生破裂简直就是一场噩梦。当灯管在高负荷工作时突然破裂,不仅会导致设备停机,还会让石英碎片和化学物质掉落在晶圆上。这不仅会造成混乱,还会带来高昂的维修成本,实在是个让人头疼的问题。
因此,我们在设计洁净室加热器时,总是以“最坏的情况”为考量...