用于制造红外灯的石英套管

在光刻车间，软烘和硬烘没有商量余地。光刻胶的表现完全由热预算决定——没有例外。如果红外灯功率弱或不稳定，就没有重来的机会。结果是线宽变化、残渣和报废。 你正在将300 mm晶圆通过一个紧密的循环——涂布、烘烤、曝光、显影。热剖面必须在晶圆之间、批次之间重复保持一致。当灯罩过热时，设定点会漂移。当石...