PVD 物理气相沉积 灯

在晶圆厂，PVD工艺一旦灯管熄灭便停滞，晶圆排队无所作为。热预算偏移，薄膜厚度开始波动，产率在警报解除前就已下降。你需要的是一个能够跟上生产线节奏的热源，而不是一个强制生产线停顿的热源。 技术重点 我们围绕可重复的热控设计了这些PVD灯管。整个晶圆上的温度均匀性控制在±0.1℃以内，采用响应迅速且...