用于冲洗的防水红外灯

在冲洗阶段，水渍和光刻胶层厚度的变化并非理论上的问题——它们会直接导致整个生产过程的失败。因此，我们设计了防水型红外灯，以此消除晶圆干燥及后续热处理过程中的不确定性。 关键所在 我们使用密封式、可清洗的装置来放置短波红外发射器。这种加热方式是直线式、非接触式的，能快速加热晶圆。如此一来，整个处理过...