简介 晶圆干燥炉对加热元件的要求极为严格。它需要一种能够快速升温、保持恒定温度且绝对不会造成污染的加热元件。因此，我们采用了高品质的石英外壳来包裹高纯度的钨丝。这种设计不仅具备与顶级品牌相媲美的可靠性，还能确保设备能够连续工作5,000小时以上。 内部结构 这些加热元件的特点是能在极小的空间内产生...

在晶圆生产车间，晶圆变薄是一个对热敏感的工序。红外加热时非均匀的热分布不仅会导致晶圆翘曲，还会引发良率损失，表现为光刻胶应力和在后续光刻及封装过程中出现的微裂纹。需要一种能够将整个表面视为单一可重复热区的热源。 技术要点 我们的短波红外加热模块能在整个基板范围内保持晶圆级温度均匀性在±0.1°C以...