用于电子产品的精准红外加热器

在光刻厂中，感光材料的烘烤过程并非简单的预热步骤，而是一个至关重要的工艺环节。如果在软烘阶段温度出现2°C的波动，就可能导致晶圆上各处的尺寸出现偏差。因此，我们设计了高精度的红外加热器，以确保温度能够精确控制在关键范围内。 从技术角度来看，什么才是最重要的？ 我们使用短波近红外光源，其辐射效率非常...