用于光刻机的石英玻璃防护罩

为什么在制造工厂中必须使用石英玻璃护罩 让我们来谈谈制造工厂中的红外线加热灯。我们都知道，这类灯光是晶圆加工过程中的关键部件。但问题在于：大部分热量其实都浪费掉了。如果你希望实现绿色能源目标或减少能源浪费，那就需要知道有多少热量真正作用于晶圆上，又有多少热量只是用来加热车间而已。 这时，石英玻璃护...