椭圆偏振法晶圆探针加热器

在制造车间里，当对晶圆进行检测或光阻烘烤时，如果温度出现波动，不仅会导致工艺参数偏离标准，还会直接造成产品报废。我们设计了这种椭圆偏振法晶圆探针加热器，以便即使在生产线满负荷运转的情况下，也能将温度控制在允许的范围内。 从技术角度而言，重要的是： 该加热器采用短波红外技术，搭配响应速度快的石英-卤...