FOUP 前开式统一容器 干燥机

在光刻车间，一台装有25片涂布光刻胶晶圆的FOUP沿轨道滚入。烘烤模块必须在每个周期都均匀达到目标温度。温度误差0.5°C，颗粒数激增，产量损失就在午饭前开始。我们设计的FOUP干燥机就是为消除这类不确定性。 技术关键点 该装置在整个FOUP范围内保持晶圆级热均匀性在±0.1°C以内，确保每片光刻...