清洗后的晶圆红外加热器

在制造车间里，清洗后的处理步骤恰恰是导致产品良率在几分钟内就下降的关键环节。此时，晶圆表面仍存在微小的粗糙度以及残留的湿气。如果后续的烘烤温度有哪怕一点点偏差，溶剂就会继续残留在晶圆表面，光刻胶的附着力也会受到影响，进而导致关键尺寸的控制变得难以掌握。我们设计的这种红外加热器，就是为了消除这些不确...