停止浪费热量：为何镀金反射器如此重要 在晶圆制造过程中，能源的浪费不仅仅是财务上的损失——它还意味着生产流程失控了。 想想普通的红外线灯泡吧。它们会将热量向四周散发出去。这意味着一半的电能被白白浪费掉了，这些热量只会让空气和设备变热，而无法有效加热晶圆。我们通过使用镀金反射器来解决这个问题，让那些...

在光刻工厂中，光刻胶在加热过程中的温度变化并非理论上的问题——它会直接导致线条宽度的变化以及成品率的下降。传统的加热装置虽然能够控制温度的上升速度，但却无法解决局部温度不均匀的问题，尤其是在晶圆边缘区域。而近红外发光二极管则可以弥补这一缺陷，它能够以直线方式向光刻胶传递热量，从而让整个晶圆上的温度...