用于半导体加热器的热电偶

保持晶圆清洁：关于加热的真相 在100级洁净室中，哪怕只有一粒灰尘存在，都会对晶圆的产出率造成致命影响。大多数加热元件在这方面都是个隐患——因为它们在加热和冷却过程中会释放出气体或颗粒物。 因此，我们采用了不同的方法。我们使用专为半导体行业设计的、纯度极高的合成石英红外灯。 防止“结雾”现象 普通...