洁净室烤箱红外加热器
停止在晶圆加工过程中浪费热量 说实话,在洁净室里浪费能源简直就是一场噩梦。在加热硅晶圆时,我们希望所有的红外能量都能作用于晶圆上,而不应被浪费掉,让烤箱变成一个巨大的散热器。
因此,我们使用镀金反射器。虽然听起来很复杂,但实际上原理很简单。
为什么选择黄金? 大多数人最初会使用铝制反射器,但问题在...
晶圆干燥炉加热元件
简介 晶圆干燥炉对加热元件的要求极为严格。它需要一种能够快速升温、保持恒定温度且绝对不会造成污染的加热元件。因此,我们采用了高品质的石英外壳来包裹高纯度的钨丝。这种设计不仅具备与顶级品牌相媲美的可靠性,还能确保设备能够连续工作5,000小时以上。
内部结构 这些加热元件的特点是能在极小的空间内产生...