为什么镀金反射器对晶圆干燥如此重要？ 在干燥晶圆时，我们需要的不仅仅是热量，而是能够精准地将光子照射到晶圆表面的能量。传统反射器的问题在于其效率较低——过多的能量会散失掉，这就相当于浪费了能源。因此，我们才使用镀金反射器。 镀金材料的优势 在反射红外辐射方面，黄金的表现极为出色。虽然铝的价格更便宜...

在光刻车间，一台装有25片涂布光刻胶晶圆的FOUP沿轨道滚入。烘烤模块必须在每个周期都均匀达到目标温度。温度误差0.5°C，颗粒数激增，产量损失就在午饭前开始。我们设计的FOUP干燥机就是为消除这类不确定性。 技术关键点 该装置在整个FOUP范围内保持晶圆级热均匀性在±0.1°C以内，确保每片光刻...