近红外光源灯泡

在光刻工厂中，光刻胶在加热过程中的温度变化并非理论上的问题——它会直接导致线条宽度的变化以及成品率的下降。传统的加热装置虽然能够控制温度的上升速度，但却无法解决局部温度不均匀的问题，尤其是在晶圆边缘区域。而近红外发光二极管则可以弥补这一缺陷，它能够以直线方式向光刻胶传递热量，从而让整个晶圆上的温度...