停止在晶圆加工过程中浪费热量
说实话，在洁净室里浪费能源简直就是一场噩梦。在加热硅晶圆时，我们希望所有的红外能量都能作用于晶圆上，而不应被浪费掉，让烤箱变成一个巨大的散热器。
因此，我们使用镀金反射器。虽然听起来很复杂，但实际上原理很简单。
为什么选择黄金？
大多数人最初会使用铝制反射器，但问题在于：铝会吸收大量的红外辐射。而黄金则不会。它能很好地将长波和中等波长的红外辐射反射回去。
我们并不是要增加功率，而是要更精准地控制热量。通过使用镀金层，我们可以把那些原本会散失的光子重新引导回晶圆上。这样就能实现更精确的温度控制，从而避免因局部过热而影响加工过程。
平衡之道
通常，这类加热器被用于空间有限、无法有效通风的环境中。由于镀金层能提高热能利用效率，因此即使降低加热器的功率，也能达到目标温度。这样一来，HVAC系统就不必再为房间增添额外的热量了。
不过需要注意的是：不能忽视冷却系统的作用。因为能量高度集中，如果通风不良，加热器的外壳仍可能过热。如果选用质量低劣的冷却风扇，那么灯丝很可能会过早烧毁。
对您来说意味着什么？
实际上，这样做可以提升工作效率。升温时间缩短，热响应速度更快。对于操作人员来说，这意味着更多的晶圆可以快速通过处理流程，无需花费太多时间等待设备恢复状态。
这是一种简单的方法，无需大幅增加能源消耗即可提升效率。