Sicherstellen, dass Ihre Wafer-Werkzeuge nicht versagen
Wenn man mit hochpräzisen Wafer-Werkzeugen arbeitet, sind die Grenzen äußerst eng. Ein kleiner elektrischer Leckstrom reicht bereits aus – dann ist die ganze Charge an Silizium wertlos.
Deshalb machen wir hier keine „Probenkontrollen“. Wir testen nicht nur ein paar Stücke und hoffen auf das Beste. Jede Lampe sowie jedes Heizelement, das unser Werk verlässt, wird einer vollständigen Prüfung auf Durchhaltefähigkeit unter Hochspannung sowie auf die Isolationswiderstandskraft unterzogen. Keine Ausnahmen.
Stressprüfung des Systems
So funktioniert es eigentlich: Die meisten Lecks entstehen durch mikroskopisch kleine Risse im Quarz oder durch unzureichend saubere Dichtungen. Um diese zu finden, unterziehen wir die Geräte einer Hochspannungsbelastungsprüfung – einer Belastung, die weit über dem Wert liegt, der in der Produktion tatsächlich verwendet wird. Ziel ist es, eventuelle Schwachstellen bereits hier zu entdecken, anstatt dass sie später innerhalb des Werkzeugs zum Versagen führen.
Falls der Leckstrom zu hoch ist, entsorgen wir einfach den Betriebsstoff. So einfach ist das.
Die „ruhige“ Seite der Sicherheit
Während Hochspannungsprüfungen Löcher aufdecken, geben uns die Prüfungen auf den Isolationswiderstand Aufschluss über den Zustand des Materials insgesamt. Wir prüfen die Megohm-Werte zwischen den aktiven Elementen und dem geerdeten Chassis. Es handelt sich dabei um eine langweilige Prozedur – doch sie sorgt dafür, dass die Schutzschalter nicht auslösen. Noch wichtiger ist jedoch, dass dadurch elektrisches Rauschen aus der Umgebung der Wafer ferngehalten wird – schließlich ist diese Umgebung ohnehin schon sehr empfindlich.
Die Realität
Seien wir ehrlich: Keine Isolierung hält ewig. Ihre Werkzeuge werden ständig thermischen Schwankungen ausgesetzt – sie dehnen sich immer wieder aus und ziehen sich zusammen. Irgendwann führt das dazu, dass die Dichtungen beschädigt werden. Auch wenn unsere Tests garantieren, dass alles am ersten Tag perfekt ist, müssen Sie dennoch über die Zeit hinweg den Leckstrom im Auge behalten.
Ein paar Tipps vom Arbeitsplatz:
Falls Sie Elemente mit hoher Leistungsdichte verwenden, werden Ihre Steckverbindungen stark belastet. Stellen Sie sicher, dass Ihre Verkabelung den Spitzenwert der Wärme aushalten kann – sonst wird die Isolierung der Leitungen beschädigt.
Und wenn Sie die Spannung bis an die Grenzen der Spezifikationen erhöhen, überprüfen Sie unbedingt die Kühlung. Wenn das Gehäuse weich wird, drohen Probleme.