روشی هوشمندانهتر برای خشک کردن ویفرهای MEMS (و صرفهجویی در مصرف انرژی)
هنگام خشک کردن ویفرهای سنسورهای MEMS، در واقع باید با دقت عمل کنید؛ باید تمام رطوبت موجود را از روی ویفرها بردارید، اما اگر بیش از حد فشار وارد کنید، آن ساختارهای ریز و حساس نابود خواهند شد.
روش قدیمی چی بود؟ استفاده از فرهای حرارتی. اما مشکل اینجاست که این فرها برای گرم کردن هوای موجود در محفظه، انرژی زیادی مصرف میکنند؛ این کار بیفایده است.
ما روش بهتری پیدا کردهایم: استفاده از لامپهای مادون قرمز با طول موج کوتاه. این لامپها به جای گرم کردن هوا، مستقیماً روی سطح ویفر تأثیر میگذارند؛ این روش کارآمدتر است و مصرف انرژی را کاهش میدهد.
نحوه کارکرد آن
تصور کنید در روز سردی در معرض نور خورشید قرار گرفتهاید؛ شما منتظر نمیمانید تا هوای اطراف گرم شود؛ گرما بلافاصله روی پوست شما احساس میشود. این همان کاری است که فوتونهای مادون قرمز روی سطح ویفر انجام میدهند.
از آنجایی که گرما بلافاصله به سطح ویفر میرسد، فرآیند خشک کردن سریعتر انجام میشود. وقتی که دستگاه برای تکمیل یک دسته ویفر، ساعتها کار نکند، هزینه برق و کربنی که تولید میشود، کاهش مییابد.
معایب این روش
برای دستیابی به تبخیر سریع، از لامپهای کوارتز با توان بالا استفاده میشود؛ این لامپها قادرند ویفرهای ۲۰۰ میلیمتری یا ۳۰۰ میلیمتری را بدون مشکل خشک کنند.
اما مشکل اینجاست که این گرمای بالا باعث میشود باید با کنترلکنندههای PID بسیار مراقب باشیم؛ اگر دمای ویفر حتی کمی از مقدار مورد نظر فراتر رود، ویفرها دچار آسیب خواهند شد. برای رسیدن به نتیجه مطلوب، نیاز به تنظیمات دقیقی وجود دارد.
چگونه «کارخانه سبز» را واقعی کنیم؟
جایگزینی روشهای حرارتی سنتی با لامپهای مادون قرمز، یکی از راحتترین راهها برای کاهش کربن است؛ شما فقط باید از نشت انرژی جلوگیری کنید.
قبل از جایگزینی تجهیزات قدیمی، حتماً منبع تغذیه دستگاه را بررسی کنید؛ این لامپها میتوانند هنگام راهاندازی، مقدار زیادی انرژی مصرف کنند. همچنین، اطمینان حاصل کنید که سیستم محافظتی دستگاه مناسب باشد؛ شما نمیخواهید گرما به سایر بخشهای حساس دستگاه سرایت کند.