Memastikan Alat Pengolahan Wafer Tidak Rusak
Ketika kita bekerja dengan alat pengolahan wafer yang memiliki tingkat presisi tinggi, margin kesalahan sangatlah kecil. Sedikit saja kebocoran listrik, maka seluruh batch silikon yang dihasilkan akan menjadi tidak berguna.
Itulah sebabnya kami tidak melakukan tes sampel saja. Kami tidak hanya menguji beberapa unit saja dan berharap semuanya berjalan lancar. Setiap komponen listrik yang keluar dari pabrik kami harus menjalani tes tegangan tinggi dan tes resistansi isolasi. Tidak ada pengecualian.
Menguji Kekuatan Sistem
Inilah cara kerjanya. Kebocoran biasanya terjadi karena adanya retakan mikroskopis pada permukaan kuarsa atau karena sambungan yang tidak sempurna. Untuk menemukan hal tersebut, kami memberikan beban tegangan yang sangat tinggi pada perangkat tersebut—jauh lebih tinggi daripada tegangan yang digunakan dalam proses produksi. Tujuannya adalah agar setiap kelemahan terdeteksi sebelum perangkat tersebut rusak saat digunakan.
Jika arus kebocoran terlalu tinggi, maka tabung tersebut akan dibuang. Sangat sederhana.
Aspek Keamanan yang “Tenang”
Meskipun tes tegangan tinggi digunakan untuk mendeteksi cacat, tes resistansi isolasi digunakan untuk mengetahui kondisi umum bahan tersebut. Kami memeriksa nilai Megohm (MΩ) antara komponen-komponen yang terhubung ke kabel grounding. Meskipun proses ini tampak membosankan, tetapi hal ini sangat penting agar saklar listrik tidak rusak. Lebih penting lagi, hal ini membantu mencegah gangguan listrik di lingkungan pengolahan wafer yang sudah cukup sensitif.
Realitas di Dunia Nyata
Sejujurnya, tidak ada insulasi yang bisa bertahan selamanya. Alat-alat tersebut terus-menerus mengalami perubahan suhu—membesar dan menyusut berulang-ulang. Akibatnya, sambungan-sambungan tersebut akan aus. Meskipun tes-tes yang kami lakukan menjamin bahwa segalanya berfungsi dengan baik pada hari pertama, Anda tetap perlu memantau arus kebocoran dari waktu ke waktu.
Beberapa tips dari para teknisi:
Jika Anda menggunakan komponen berdaya tinggi, maka koneksi-koneksi tersebut akan mengalami tekanan yang besar. Pastikan kabel-kabel tersebut mampu menahan panas yang tinggi,否则 insulasi pada kabel tersebut akan hancur.
Dan jika Anda memaksakan tegangan hingga batas maksimal, pastikan sistem pendinginan Anda berfungsi dengan baik. Jika lapisan pelindungnya rusak, maka Anda akan menghadapi masalah.