クラス100のクリーンルームを常に清潔な状態に保つために
クラス100の環境で作業を行う際、加熱というのは単に物を温めるだけではありません。それは、微粒子と戦うことでもあります。
一般的な加熱要素は、こうした環境では問題を引き起こします。それらはガスや見えないほど小さな破片を放出し、ウェーハや高精度な光学部品を損傷させてしまいます。そのため、私たちは高純度の融成石英製のIRランプを使用しています。
なぜ石英か？
私たちが使用するのは合成融成石英です。なぜなら、それは清潔だからです。通常のガラスには不純物が含まれており、それらはファブ内で許されません。極端な高温にさらされ続けると、機器が壊れてしまいます。たった一つの微粒子でも、生産効率を下げてしまいます。そのため、出荷する前に、石英管の表面の汚染物質をすべて取り除きます。
汚れを出さずに加熱するコツ
短波長のIRランプは、強力な加熱力を持っているため、素晴らしいです。高いエネルギー密度により迅速に硬化できますが、部屋全体が暖められるわけではありません。熱を基板に集中させることで、他の部分の温度を抑えることができます。また、これらのランプは特定のワット数に設定されているため、フィラメントが管壁を過度に温めることがなく、有機物の放出を防ぐことができます。
実際の使用方法
これらのランプは、既存の硬化装置の代わりとして使用できます。既存のコントローラーに直接接続できます。ただし、注意点があります。パワー密度に気を付けてください。高ワット数の石英管を狭い空間に設置すると、局所的に非常に高い温度が発生します。排気や冷却システムがその負荷に耐えられるか確認してください。そうでなければ、一日中エアフローの警告が出続けることになります。
24時間365日運転する場合は、接続部にも注意してください。たとえ最良のランプであっても、接続部が緩むと電気的な接触不良が発生し、機能しなくなってしまいます。接続部をしっかりと固定し、石英管を清潔に保つことが大切です。それさえすれば、他の問題はほとんど発生しません。