ウェーハの硬化処理における無駄な熱の発生を止めよう
ウェーハを硬化処理する際、温度管理は非常に重要です。しかし問題は、ほとんどの装置では熱があちこちに漏れてしまうことです。その結果、ウェーハではなく、装置自体が過度に加熱されてしまいます。
これは時間の無駄だけでなく、お金の無駄でもあります。
熱が実際にどこに行くか
反射器のない硬化ランプを考えてみてください。そのエネルギーの半分以上が後方に漏れてしまいます。つまり、工場内の空間を温めるだけです。
これを解決するために、金メッキや高純度アルミニウム製の反射器を使用します。これにより、エネルギーが再びウェーハに戻されます。
その結果、同じ硬化効果が得られますが、必要な電力を減らすことができます。そうすれば、電気代が削減でき、二酸化炭素排出量も減少します。まさに一石二鳥です。
「クールスポット」の危険性
使用する材料も重要です。短波長のIRを使用する場合、高温になっても変形しない材料が必要です。
もし反射器が変形したり酸化したりすると、ウェーハに「クールスポット」ができてしまいます。多くの人は、それを補うために出力を上げてしまいますが、それは避けるべきです。
出力を過度に上げると、効率が低下し、ランプの寿命も短くなってしまいます。
トレードオフ
「グリーン化」は魔法ではありません。何らかのトレードオフが伴います。
これらの反射器は熱を集中させるため、ランプの周囲が非常に高温になります。冷却を無視するわけにはいきません。もし空気の流れが悪ければ、ランプが破損してしまいます。したがって、冷却システムが適切に機能しているか確認する必要があります。
簡単な解決策
私たちは、これらを既存の装置にそのまま交換可能なように設計しました。全体の装置を分解したり、生産速度を遅らせたりする必要はありません。
反射器の形状を変更するだけで、1サイクルあたりの消費電力を減らすことができます。クリーンルームの脱炭素化を図りたいが、面倒な手続きを避けたい人にとって、これが最も実用的な方法でしょう。