シャードの発生を防ぎ、ウエハーを赤外線ランプの故障から守る
正直に言って、赤外線ランプが壊れるのは本当に悪夢です。高負荷の状態でランプが破裂すると、単なる停止時間だけでは済みません。石英の破片や化学物質がウエハーに降りかかってしまいます。これは大変な混乱を招き、費用もかかります。誰もが避けたい状況です。
そのため、私たちはクリーンルーム用のヒーターを設計する際に「最悪の事態」を想定しています。
安全装置
私たちは、石英管だけに頼るのではありません。全体を二次的な保護ケースで覆っています。これは一種の保険のようなものです。もし主なランプが熱衝撃で割れたり壊れたりしても、この保護ケースがすべての破片を受け止めてくれます。そうすれば、ウエハーに何も付着しません。また、内部のランプを交換する際にも、チャンバー全体を掃除する必要がありません。
高温対策
このようなランプを使うと、温度の急激な変化が起こります。破損を防ぐために、私たちは膨張や収縮に耐えられる高純度の融解石英を使用しています。また、電極を化学的に結合させることで、シール部分からのガス漏れの心配もありません。
しかし、本当の秘密はPIDコントローラーにあります。これにより、温度が常に監視されます。冷却空気の流量が低下した場合、システムはすぐに電力供給を切断します。これにより、ガラスが軟化する前に問題を防げます。
妥協点（現実的な話）
高い熱密度は良いことですが、機器に大きな負担をかけます。ピークワット数で動作させると、電気接続部品に負荷がかかります。配線が十分な電流に耐えられるか確認する必要があります。そうでないと、端子が溶けてしまいます。私たちは、振動に強い配線を使用していますが、それでも「設定して忘れる」というわけにはいきません。
しっかりとしたメンテナンス計画が必要です。500時間ごとにシール部分をチェックしましょう。もし保護ケースの固定が緩んでいると、局所的に過度な熱が発生し、ランプが予想以上に早く壊れてしまいます。
また、チャンバー内を清潔に保ち、空気の流れを良くしましょう。そうすれば、ウエハーも感謝してくれるでしょう。