半導体洗浄用のヒーターを安全に、かつストレスなく使うために
正直に言って、クリーンルーム内で、反応性の高い洗浄剤のすぐそばにヒーターを設置するのは、とても危険なことです。可燃性の溶剤を扱う際には、一般的な赤外線ランプを使うのは良くない選択です。それは単なる悪い選択肢にとどまらず、大きなリスクを伴います。そのため、私たちは特別な封止処理を施してヒーターを作っています。これにより、スパークが発生するのを防ぎ、有害な化学物質がヒーターの部分に触れないようにしています。
秘密は封止処理にあります。
私たちは単にランプを包んで終わりにするわけではありません。電気端子を周囲の空気から完全に隔離するための密閉処理を施しています。石英製のケースは熱衝撃にも耐えられますが、本当の効果は接続部にあります。
私たちは腐食しにくい特殊な封止剤やケースを使用しています。これにより、化学物質の蒸気が漏れ出ても、配線に侵入することはありません。洗浄環境では、封止処理が失敗すると、単にランプが壊れるだけでなく、短絡や火災の危険もあります。誰もそんなことは望みません。
必要な場所だけを加熱します。
ここでの目的は簡単です。ウェーハや基板が移動している間も、一定の温度を保つことです。私たちは短波赤外線技術を利用して、熱を直接対象物に送り込みます。
最良な点は、周囲の空気が温められないことです。そうすれば、クリーンルームの環境は冷たく安定したままで、全員の作業が楽になります。
ちょっとしたヒント：電力密度にも注意しましょう。高出力のランプは素早く作業を済ませられますが、キャリッジの電源に大きな負担をかける可能性があります。ケーブルの太さをしっかり確認しておくべきです。配線ハーネスが過度に熱くならないようにしなければなりません。
迅速に導入できます。
これらのヒーターは、そのまま取り付け替えることができます。キャリッジのフレームを分解したり、レイアウトを変更したりする必要はありません。
ケースは滑らかで多孔質ではないため、化学物質が割れ目に溜まることはありません。監査員が来ても、簡単に拭き取れば済みます。
最後に、私たちの封止処理がランプを守ってくれますが、換気にも注意しましょう。可燃性の蒸気の濃度を下限値以下に保てば、問題ありません。