ウェーハをきれいに保つために：加熱に関する真実
クラス100のクリーンルームでは、わずかなほこりの粒子でさえも問題となります。それはウェーハの歩留まりを著しく低下させる要因となります。ほとんどの加熱素子は、加熱や冷却の際にガスや微粒子を放出してしまうため、問題となります。
そのため、私たちは別の方法を採用しています。半導体製造に特化して作られた、高純度の合成石英製のIRランプを使用しているのです。
「フOG発生」への対策
ガラスには、通常、微量の金属が含まれています。温度が上がると、これらの不純物が揮発し、基板上に付着してしまいます。おそらく、最初の数回の処理時に、その厄介な「フOG」現象を見たことがあるでしょう。
私たちは、高純度の石英管と、徹底的な清掃処理を組み合わせることで、この問題を解決しています。私たちの工場から出荷される製品には、表面に残留物が残ることはありません。絶対に。
実際に効果的な加熱
これらのランプは短波長のIRを利用しているため、急速に温度が上昇します。非常に速いのです。
私たちは、管全体に均一な温度が保たれるように、厳格な許容範囲を設定しています。しかし、高ワット数の装置を使用する場合は、チassisの冷却システムをしっかり確認することが重要です。放射熱を適切に管理しなければ、センサーの精度が低下し、結果として無駄な努力を強いられることになります。
ハードウェアの取り扱い
私たちは、ダウンタイムを避けるために、これらのランプを簡単に交換できるようにしました。シールもしっかりしているので、ハロゲンガスが外部に漏れ出す心配はありません。ただ一点だけ注意してください。コネクタが熱に耐えられるかを確認してください。端子が溶けてしまうような事態になっては困ります。
結局のところ、これらは「一度設定すれば忘れてしまえる」という道具ではありません。石英管の状態を常に監視する必要があります。時間が経つにつれて、プロセスの副産物が管に蓄積されていきます。そうなると、放射率が変わってしまいます。同じ表面温度を維持するためには、消費電力が増加していくことになります。
そのような状況になったら、新しいランプに交換する時期です。