なぜ金コーティングされた反射板がシリコンウェハにとって重要なのか
シリコンウェハを加熱する際、無駄になるエネルギーは、まるで無駄に消えていくお金のようなものです。
多くの人々は、安価なアルミニウム製の反射板を使っています。確かに安いですが、問題があります。アルミニウムは赤外線の全波長を十分に反射できないのです。多くの赤外線が漏れてしまいます。そこで、金コーティングを施すことで、エネルギーを効率的にウェハに伝えることができます。
金とアルミニウム：本当の違い
考え方としては、研磨されたアルミニウムはある程度は役立ちますが、長波長の赤外線には対応しきれません。一方、金は全く異なります。はるかに多くのエネルギーを反射します。
反射板に精密に金コーティングを施すことで、素材が熱を吸収するのを防ぎます。そうすることで、光子は正確に目的の場所に届きます。つまり、消費する電力を減らすか、目標の温度に到達するのが大幅に早くなります。
金属だけではなく、形状も重要
素材は半分しか重要ではありません。形状も完璧でなければなりません。
私たちは反射板の形状を調整し、赤外線ビームを狭く均一な範囲に集中させます。この精度がなければ、ウェハの端に「冷却不足の部分」ができてしまいます。コーティングが不均一だったり、反射板が歪んでいると、熱が均等に分布しません。これは一貫性を保つ上で大きな問題です。私たちは厳格な tolerance を設定し、ウェハ全体が均等に加熱されるようにしています。
正直なトレードオフ
正直に言うと、金は安くありません。投資として考える必要があり、アルミニウムよりも高額になります。
また、手入れも少し丁寧に行う必要があります。どうか、装置を傷めないように、強烈な化学薬品を使わないでください。そうすると金コーティングが剥がれ落ち、反射率が低下してしまいます。表面を傷つけないために、私たちが推奨する溶剤を使用してください。
最後に、もし赤外線ランプの出力を高く設定する場合、そのハウジングは非常に高温になります。シャーシの冷却機能がそのような熱量に耐えられるかを必ず確認してください。そうでなければ、取り付けブラケットが変形してしまい、面倒な問題が発生するかもしれません。