Mengurangkan Pelepasan Karbon di Kilang Pengeluaran Semikonduktor: Mengapa Penggunaan Pemanasan Inframerah yang Tepat Berkesan
Kini, semua orang sedang membincangkan konsep “kilang hijau”. Namun, bagi mereka yang mengendalikan kilang pengeluaran semikonduktor, mereka tahu bahawa cara untuk mengurangkan jejak karbon adalah dengan mengawal penggunaan haba dengan baik.
Pemanas tradisional yang menggunakan prinsip rintangan elektrik sebenarnya sangat membazir tenaga. Ia memanaskan segala-galanya—bilik tersebut, udara, dinding, dan sebagainya. Pada dasarnya, ia memanaskan segala-galanya kecuali bahagian yang sebenarnya perlu dipanaskan.
Itulah sebabnya kita beralih kepada penggunaan pemanasan inframerah yang tepat. Daripada memanaskan seluruh bilik, kita hanya perlu mengarahkan tenaga tersebut secara langsung ke permukaan wafer.
Kuncinya terletak pada ketumpatan tenaga.
Kita menggunakan lampu inframerah berfrekuensi rendah serta lampu dengan kekuatan tinggi agar suhu dapat dicapai dengan cepat. Dengan cara ini, penggunaan tenaga akan berkurangan.
Namun, kita tidak boleh saja meningkatkan kuasa lampu tersebut secara drastik untuk mempercepat proses pemanasan. Jika dilakukan begitu, akan timbul kawasan yang terlalu panas. Tiada siapa yang mahu wafer yang rosak akibat overheating. Yang penting adalah mencari keseimbangan yang tepat antara tenaga yang digunakan dan suhu yang diinginkan.
Di sinilah letaknya penjimatan sebenar
Inilah perkara yang sering terlepas pandang oleh ramai orang: tenaga yang “tersembunyi”. Apabila kita beralih kepada sistem pemanasan inframerah, kita dapat mengurangkan pembaziran tenaga pada sistem pemanas yang tidak digunakan sepenuhnya. Kita menggunakan kotak kuarza dan reflektor untuk memantulkan setiap foton kembali ke sasaran yang ditetapkan.
Dengan cara ini, haba tidak tersebar ke seluruh ruang, jadi sistem HVAC dan chiller tidak perlu bekerja keras untuk mengekalkan suhu yang sesuai. Inilah cara untuk mengurangkan pelepasan karbon.
Tapi, ia bukanlah penyelesaian yang mudah
Sejujurnya, penggunaan pemanasan inframerah bukanlah solusi yang mudah. Sensor perlu dikalibrasi dengan tepat. Jika litar PID tidak disetkan dengan betul, suhu boleh menjadi terlalu tinggi sehingga merosakkan wafer. Selain itu, lampu juga akan usang seiring masa. Filamen lampu akan aus, dan output spektrumnya akan berubah. Kita perlu menyesuaikan kuasa lampu dari masa ke masa agar suhu tetap stabil.
Walaupun memerlukan lebih banyak perhatian, namun penjimatan tenaga dan kecekapan yang diperoleh sangat berbaloi.