Di bilik pembersihan cip tersebut, langkah pembersihan selepas proses pembersihan itulah di mana kadar keberkesanan pengeluaran boleh menurun dengan cepat. Cip yang keluar daripada proses pembersihan masih mempunyai permukaan yang sedikit kasar dan kelembapan yang masih terdapat pada permukaannya. Jika suhu semasa proses pembakaran tidak dikawal dengan baik, bahan pelarut akan tetap tinggal pada permukaan cip, dan daya lekat bahan fotorezistan juga akan berubah. Ini seterusnya akan menyebabkan ketidakstabilan dalam kawalan dimensi penting cip tersebut. Kami telah mencipta pemanas inframerah khusus untuk digunakan selepas proses pembersihan, agar masalah ini dapat diatasi.
Apa yang penting dari segi teknikalnya
Pemanas ini menggunakan pancaran inframerah gelombang pendek dalam modul yang diperkuat dengan kuarsa. Dengan cara ini, pemanasan berlaku dengan cepat tanpa perlu memanaskan seluruh ruang di dalam bilik tersebut. Suhu di seluruh permukaan cip kekal stabil dalam lingkungan ±0.1°C, dari 80°C hingga 250°C. Masa tindak balasnya kurang dari 3 saat, jadi penggunaan tenaga tetap terkawal.
Keserasian dengan bilik bersih juga telah diambil kira: bahan-bahan yang digunakan memenuhi standard Kelas 1–100, permukaannya diproses secara elektropolishing, dan sistem pengudaraan memastikan tiada zarah debu yang terhasil semasa operasi. Kawalan suhu dilakukan secara tertutup, menggunakan alat pengukur suhu yang telah dikalibrasi, serta sistem penyimpanan maklumat proses yang memastikan konsistensi hasil pengeluaran dari satu批次 ke batch yang lain.
Mengapa ia sesuai untuk pengeluaran
Setelah cip dibersihkan, ia dimasukkan ke dalam pemanas tersebut. Pemanas ini akan memberikan suhu yang sesuai untuk proses pembakaran cip tersebut. Proses ini membolehkan masa pengeluaran dipendekkan tanpa menyebabkan masalah. Penggunaan tenaga juga dikawal dengan baik, jadi penggunaan tenaganya lebih rendah berbanding kaedah pemanasan biasa.
Ketahanan pemanas ini direka untuk beroperasi 24/7. Data yang diperoleh menunjukkan bahawa masa henti yang tidak dirancang kurang dari 0.1% untuk ribuan kitaran pembakaran. Ini bermakna kurangnya keperluan untuk membaiki cip tersebut, dan kualiti cip dapat dijamin konsisten.
Apa yang perlu dipertimbangkan semasa pemasangan
Pemasangan pemanas ini memerlukan penyesuaian saiz saluran pengudaraan dan pengesahan jenis voltan yang digunakan. Walaupun pemanas ini berukuran kompak, masih diperlukan ruang yang cukup di sekelilingnya agar aliran udara berjalan lancar dan suhu tetap stabil.
Pemindahan maklumat proses juga mudah dilakukan untuk proses standard. Namun, bagi integrasi khas, mungkin diperlukan sedikit masa untuk menyesuaikan profil haba agar sesuai dengan spesifikasi cip tersebut.