Hoe houd je je wafers schoon? De waarheid over het verwarmen
In een klasse-100 schone ruimte is zelfs één klein stofdeeltje geen klein probleem – het kan juist fataal zijn voor de kwaliteit van je wafers. De meeste verwarmings-elementen vormen hier een risico: ze geven gassen af of scheiden deeltjes af wanneer ze opwarmen en afkoelen.
Daarom doen wij het anders. We gebruiken IR-lampen gemaakt van zeer zuiver synthetisch kwarts, speciaal ontworpen voor de halfgeleiderindustrie.
De strijd tegen ‘mistvorming’
Glas bevat vaak sporen van metalen. Wanneer het heet wordt, verdampen deze onzuiverheden en belanden ze op het substraat. Je hebt vast wel eens die irritante ‘mist’ gezien tijdens de eerste cycli.
We voorkomen dit door gebruik te maken van zeer zuiver kwarts en een zeer grondig reinigingsproces. Er mag absoluut geen vuil achterblijven op onze producten. Punt.
Verwarming die echt werkt
Deze lampen gebruiken kortegolfig IR-licht, waardoor ze snel op temperatuur komen. Heel snel.
We houden de toleranties nauwkeurig in de gaten, zodat de temperatuur gelijkmatig over de hele lamp wordt verdeeld. Eén advies: als je een apparaat met hoge vermogens gebruikt, controleer dan goed de koeling van het apparaat. Als je de uitgestraalde warmte niet onder controle hebt, kunnen de sensoren niet meer nauwkeurig meten.
Omgaan met de hardware
We hebben deze lampen zo ontworpen dat ze gemakkelijk kunnen worden vervangen. Niemand wil immers stilstand hebben. De sluitingen zijn stevig, zodat er geen halogeengassen in de omgeving kunnen lekken. Eén tip: zorg ervoor dat je aansluitingen bestand zijn tegen de thermische belasting. Je wilt natuurlijk niet ontdekken dat je verbindingen smelten.
Het zijn geen apparaten waar je ‘het maar even aan laat staan’. Je moet de lampen regelmatig controleren. Na verloop van tijd gaan er bijproducten op de lamp zich ophopen. Dan verandert de emissiviteit. Je zult merken dat je meer energie nodig hebt om dezelfde oppervlaktetemperatuur te behouden.
Wanneer je dit ziet, is het tijd om een nieuwe lamp te installeren.