Stop de schade: bescherm je wafers tegen storingen in de infraroodlampen
Laten we eerlijk zijn: een kapotte infraroodlamp is een nachtmerrie. Als de lamp tijdens intensief gebruik kapotgaat, krijg je niet alleen te maken met stilstand van het proces. Er vallen ook stukjes kwarts en chemische stoffen op je wafers terecht. Het is een puinhoop, het kost veel geld en het veroorzaakt veel problemen.
Daarom bouwen we de warmtepompen voor onze zuiverruimten zo dat ze bestand zijn tegen het ergste scenario.
Het veiligheidsnetwerk
We vertrouwen er niet alleen op dat de kwartslamp intact blijft. We omhullen de lamp met een extra beschermend omhulsel. Denk hierbij aan een soort verzekeringspolis: als de hoofdlamp door thermische schokken kapotgaat, vangt het omhulsel al het schroot op. Niets kan dan op de wafers terechtkomen. Bovendien maakt dit het gemakkelijker om de lamp te vervangen, zonder dat je de hele ruimte hoeft te reinigen.
Omgaan met de hitte
Het gebruik van zulke lampen zorgt voor grote temperatuurschommelingen. Om te voorkomen dat de lampen kapotgaan, gebruiken we kwarts van hoge kwaliteit dat bestand is tegen deze schommelingen. De elektroden worden ook chemisch vastgezet, zodat er geen gaslekken kunnen optreden.
Maar het echte geheim zit in de PID-regelaars. Zij houden nauwlettend in de gaten wat de temperatuur is. Als de koelluft te laag wordt, stoppt het systeem onmiddellijk met werken. Dit gebeurt nog voordat het glas zelfs maar bij zijn smeltpunt komt.
De trade-offs (de harde waarheid)
Hoge hitte-intensiteit is natuurlijk goed, maar het legt veel druk op de apparatuur. Als je op maximale vermogens werkt, worden de elektrische verbindingen zwaar belast. Je moet ervoor zorgen dat de bedrading het gelijke kan hebben met de stroomsterkte, anders kunnen de koppelingen smelten. We gebruiken versterkte kabels om de trillingen te compenseren, maar je kunt het toch niet zomaar “weglaten”. Je hebt een goede onderhoudsplan nodig. Controleer de koppelingen elke 500 uur. Als het omhulsel loskomt, kunnen er hete punten ontstaan, waardoor de lampen sneller kapotgaan. Houd de ruimte schoon en zorg voor goede luchtcirculatie. Je wafers zullen je daar dankbaar voor zijn.