Üretim sürecinde, pişirme adımı bir duraklama değil, akışın içindeki belirgin bir sınırdır. Yumuşak pişirme ve sert pişirme, kritik boyut kontrolü, çözücülerin uzaklaştırılması ve fotoresistin yüzeye yapışması açısından önemlidir. Eğer ısıtma plakası yerinden oynarsa veya ayar noktası waferin hareketlerine göre değişirse, verimlilik sessizce düşer. İşte bu yüzden kızılötesi ısıtma modüllerini geliştirdik: Sıcaklık sadece bir ölçüm değil, aynı zamanda kontrol edilmesi gereken bir parametredir.
Teknik açıdan önemli olanlar Hızlı tepki veren kuvars elemanlarına sahip kısa dalga boylu kızılötesi ışınlayıcılar kullanıyoruz. Isı, tam da ihtiyaç duyulan yere iletilir; çevredeki bölgeler yanmaz. Waferin her yerinde sıcaklık uniformitesi ±0,1°C civarında tutulur, böylece hat genişliği ve profili her parti için aynı kalır. Isıtma işlemi kapalı döngü kontrolüyle yönetilir; böylece hem 150 mm hem de 200 mm’lik waferler için termal durum stabil kalır. Bu modüller, düşük gaz salınımı olan malzemeler ve parçacık üretimini azaltan bir tasarımla, Cleanroom Class 1–100 ortamlarında kullanılmak üzere tasarlanmıştır.
Neden gerçek üretim ortamlarında etkili oluyor? Litografi üretim hatlarında bu modüller, robotik sistemlerle çakışmadan pişirme istasyonlarına yerleştirilebilir. Böylece tutarlı bir fotoresist performansı elde edilir; daha az arıza, daha düşük hata oranları ve daha az yeniden işleme gerekliliği olur. Enerji tüketimi de azalır, çünkü ısıtma işlemi odanın kendisine değil, filmlere uygulanır. Ayrıca sistemin çalışma süresi de artar; sistem 7/24 kesintisiz çalışır ve beklenmedik arızalar olmaz.
Planlamanız gerekenler Montaj süreci, mekanik yapıyı ve arayüz bağlantılarını kendi üretim hattınıza veya kaplama cihazınıza uyumlu hale getirmekten ibarettir. Isıtma hızlarını ayarlamak ve fotoresistin performansını dengelemek için kısa bir kurulum süresi gerekecektir. Işınlayıcıların ömrü uzundur, ancak sonsuza kadar dayanmazlar; bu yüzden sıcaklık tekrarlanabilirliğinin bozulmaması için periyodik bakım sırasında değiştirilmelidirler.