חיממן לייבוש במעבדה על שבב

בשלב הייבוש של הוופר, לפני תהליך הליתוגרפיה, קיימת השפעה משמעותית על איכות התוצאה – וזה לא קורה באופן עקיף. שאריות של חומרי פוטורזיסט, סימני מים,...