청정실 장비 업그레이드 공장

반도체 공장에서 탄소 배출을 줄이는 방법: 왜 적외선이 최적의 해결책인가? 반도체 공장에서 탄소 중립 목표를 달성하려면, 기존의 방식으로는 충분하지 않다는 것을 알고 계실 것입니다. 대부분의 경우 여전히 저항 가열 방식을 사용하는데, 이는 웨이퍼 주변의 공기만을 가열...