진공 챔버용 적외선 히터

왜 진공 상태에서 가열할 때는 금으로 코팅된 반사체를 사용하는가? 만약 진공 챔버 내에서 웨이퍼를 처리해본 적이 있다면, 에너지가 낭비된다는 문제를 잘 알고 있을 것입니다. 가열원에서 나오는 에너지의 상당 부분이 그냥 챔버 벽에 소멸됩니다. 이는 전기의 낭비일 뿐만...