На виробничій лінії процес випалювання фоторезисту не є просто етапом попереднього нагрівання – це важлива складова всього процесу. Зміна температури на 2°C під час процедури м’якого випалювання може призвести до значних варіацій критичних розмірів на поверхні пластини. Ми створили точний інфрачервоний нагрівач, який дозволяє підтримувати необхідну температуру саме в тих місцях, де це важливо.
Що є важливим з технічної точки зору
Ми використовуємо джерела короткохвильового інфрачервоного випромінювання з швидким та прямим передаванням енергії. Час реакції становить менше секунди, а однорідність температури на поверхні пластини залишається в межах ±0,1°C. Корпус нагрівача виготовлений з кварцу та високочистого керамічного матеріалу; це запобігає вивільненню газів та утворенню частинок, завдяки чому умови в приміщенні залишаються в межах класу чистоти 1–100. Повторюваність температури між циклами становить ±0,5°C, тож кожна процедура випалювання відбувається за однакових умов. Для контролю температури використовуються калібровані пірометри та стабільні пристрої керування, що дозволяє уникнути появи „гарячих точок“ на краях поверхні пластини.
Чому цей нагрівач ефективний у реальних умовах
У процесі літографії нагрівач розташовується безпосередньо на платформі для випалювання. Він підтримує температуру поверхні пластини без перевищень, тож контроль критичних розмірів залишається точним. Це сприяє зменшенню кількості продукції, яку потрібно переробити, та забезпечує більш прогнозований рівень якості продукції. Використання енергії зменшується, оскільки енергія йде безпосередньо на пластину, а не на обладнання навколо неї. Тривалість роботи таких пристроїв становить 24/7 без непланових перерв, а терміни обслуговування перевищують 5 000 годин.
Що потрібно зробити правильно
Нагрівач потребує чистого та сухого газу для подачі енергії, а також стабільної напруги. Падіння напруги може призвести до тимчасових змін температури, що проявляється як помилки в результатах обробки. Допуски щодо встановлення нагрівача є дуже строгими – відхилення від правильного положення має бути не більше 0,5 мм, щоб зберегти однорідність температури. Необхідно вибрати правильну потужність та розмір отвору нагрівача відповідно до розміру пластини та умов випалювання; інакше це призведе до недостатньої точності процесу.