Trong quy trình sản xuất, việc nung phim quang học không đơn thuần là bước khởi động mà còn là bước quan trọng trong toàn bộ quy trình. Sự thay đổi nhiệt độ chỉ 2°C trong quá trình nung cũng có thể gây ra sự biến thiên về kích thước của các chi tiết trên wafer. Chúng tôi đã chế tạo máy sưởi bằng tia hồng ngoại có độ chính xác cao, nhằm duy trì nhiệt độ ở mức cần thiết.
Những yếu tố quan trọng về mặt kỹ thuật:
Chúng tôi sử dụng nguồn ánh sáng hồng ngoại tần số cao, kết hợp với cơ chế truyền năng lượng nhanh và trực tiếp. Thời gian phản ứng chỉ trong vài giây, và độ đồng đều của nhiệt độ trên toàn bộ bề mặt wafer được duy trì ở mức ±0,1°C. Vỏ máy được làm từ thạch anh và gốm thuần khiết, không gây ra hiện tượng thoát khí hay tạo ra các hạt bẩn, giúp duy trì môi trường sạch trong phòng sản xuất loại 1–100. Độ lặp lại của nhiệt độ giữa các chu kỳ nung là ±0,5°C, vì vậy mỗi lần nung đều diễn ra trong cùng điều kiện nhiệt độ. Hệ thống điều khiển khép kín sử dụng máy đo nhiệt độ được hiệu chuẩn chính xác, giúp loại bỏ các điểm nóng ở rìa bề mặt wafer.
Tại sao công nghệ này lại hiệu quả trong thực tế?
Trong quy trình sản xuất, máy sưởi được đặt trực tiếp trên khay nung. Nhiệt độ của máy sưởi được điều chỉnh sao cho phù hợp với nhiệt độ của bề mặt wafer, giúp duy trì độ chính xác về kích thước của các chi tiết trên wafer. Nhờ đó, số lượng sản phẩm cần sửa chữa giảm đi, và tỷ lệ sản phẩm đạt tiêu chuẩn tăng lên. Việc sử dụng năng lượng cũng giảm xuống, vì năng lượng được sử dụng để làm nóng wafer, chứ không phải các bộ phận xung quanh nó. Thời gian hoạt động liên tục của máy cũng rất cao – chúng có thể hoạt động 24/7 mà không có sự gián đoạn nào, và thời gian bảo trì có thể lên đến 5.000 giờ.
Những yếu tố cần được đảm bảo để công nghệ này hoạt động hiệu quả:
Máy sưởi cần được cung cấp khí sạch, khô, cùng với điện áp ổn định. Sự thay đổi điện áp có thể gây ra sự biến động nhiệt độ, dẫn đến sai số trong quá trình sản xuất. Độ chính xác trong việc lắp đặt cũng rất quan trọng – độ chính xác trong việc căn chỉnh máy sưởi so với bề mặt wafer phải nằm trong khoảng 0,5 mm để đảm bảo độ đồng đều của nhiệt độ. Bạn cần xác định đúng công suất và kích thước của máy sưởi phù hợp với kích thước wafer và quy trình nung; nếu không, điều này sẽ ảnh hưởng đến độ chính xác của quá trình sản xuất.