ウェーハ加工用の工具が故障しないようにするためには、細心の注意が必要です。高精度なウェーハ加工用工具を使う場合、わずかな電気的漏れだけで、そのロット全体が無駄になってしまいます。
だからこそ、こちらでは「サンプル検査」を行いません。数個だけテストして、うまくいけばいいというわけにはいきません。私たちの工場から出荷されるすべてのランプや加熱要素は、必ず完全なヒップOT試験および絶縁抵抗試験を受けます。例外はありません。
システムへの負荷をかける
実際には、ほとんどの漏れは、クォーツに微細な割れ目があったり、シール部が十分に清潔でないために起こります。それを見つけ出すために、私たちは装置に高圧をかけてテストします。これは、実際の製造過程で使われる電圧よりもずっと高い値です。目的は、隠れた弱点が装置内部で壊れる前に、ここで露呈するようにすることです。
もし漏電電流が高すぎる場合は、そのチューブは廃棄されます。それだけです。
安全性の「静かな側面」
高圧試験によって欠陥が見つかりますが、絶縁抵抗試験によっては、材料全体の状態が把握できます。私たちは、帯電した要素と接地された筐体の間のメーゲオーム値をチェックします。これは単調な作業ですが、これによってブレーカーが作動するのを防げます。さらに重要なのは、すでに敏感なウェーハの環境に電気的ノイズが入らないようにすることです。
実際の状況
正直に言って、どんな絶縁材も永遠に耐えられるわけではありません。工具は絶えず熱変形を繰り返します。その結果、シール部が劣化してしまいます。私たちのテストでは最初の日には問題がないことが確認されますが、それでも時間が経つにつれて漏電電流を監視し続ける必要があります。
工場でのアドバイス： 高ワット密度の要素を使用している場合、コネクタに大きな負荷がかかります。配線がそのピーク温度に耐えられるかを確認してください。そうでなければ、リード線の絶縁体が溶けてしまいます。また、電圧を規格の限界まで上げる場合は、冷却システムをしっかりチェックしてください。もしケースが柔らかくなってしまったら、問題が発生するでしょう。