Đảm bảo rằng các dụng cụ xử lý wafer của bạn không bị hỏng hóc
Khi làm việc với các dụng cụ xử lý wafer có độ chính xác cao, mọi sai số nhỏ đều có thể dẫn đến hậu quả nghiêm trọng. Chỉ cần có một vết rò rỉ điện nhỏ thôi, toàn bộ lô sản phẩm silicon của bạn sẽ trở thành rác thải.
Đó là lý do tại sao chúng tôi không tiến hành kiểm tra mẫu ngẫu nhiên. Chúng tôi kiểm tra từng thiết bị một một cách kỹ lưỡng. Mọi bộ phận điện tử và linh kiện gia nhiệt rời khỏi xưởng của chúng tôi đều phải trải qua các bài kiểm tra về khả năng chống lại điện áp cao và khả năng cách điện. Không có ngoại lệ nào cả.
Kiểm tra chất lượng hệ thống
Đây là cách chúng tôi kiểm tra chất lượng thiết bị. Hầu hết các vấn đề về rò rỉ điện xảy ra do những vết nứt vi mô trong vật liệu thạch anh hoặc do các chi tiết kín không được vệ sinh kỹ lưỡng.
Để phát hiện những vấn đề này, chúng tôi tạo ra áp lực điện cao lên các thiết bị – cao hơn nhiều so với mức áp lực thực tế được sử dụng trong quá trình sản xuất. Mục đích là để buộc những điểm yếu ẩn giấu phải lộ ra ngay tại xưởng của chúng tôi, thay vì gây hư hại cho thiết bị trong quá trình sử dụng.
Nếu dòng điện rò rỉ quá cao, chúng tôi sẽ loại bỏ chi tiết đó ngay lập tức. Đơn giản thôi.
Khía cạnh an toàn “không gây ồn ào”
Trong khi các bài kiểm tra áp lực cao giúp phát hiện các lỗ hổng, thì các bài kiểm tra về khả năng cách điện lại giúp chúng tôi biết được tình trạng tổng thể của vật liệu. Chúng tôi kiểm tra giá trị Megohm (MΩ) giữa các bộ phận điện và phần vỏ máy được nối với mặt đất. Đó là công việc khá nhàm chán, nhưng nó giúp tránh được tình trạng các thiết bị bị hỏng do điện áp cao. Quan trọng hơn, nó còn giúp ngăn chặn các nhiễu điện trong môi trường xử lý wafer, vốn đã rất nhạy cảm rồi.
Thực tế trong công việc
Hãy thừa nhận rằng: không có vật liệu nào có thể duy trì tính cách điện mãi mãi. Các thiết bị của bạn phải chịu đựng sự biến đổi nhiệt độ liên tục – co giãn liên tục. Cuối cùng, điều này sẽ làm hỏng các bộ phận kín của thiết bị. Dù các bài kiểm tra của chúng tôi đảm bảo rằng mọi thứ đều ổn ngay từ ngày đầu, nhưng bạn vẫn cần theo dõi dòng điện rò rỉ theo thời gian.
Một vài mẹo từ kinh nghiệm thực tế:
Nếu bạn sử dụng các linh kiện có công suất cao, các đầu nối của chúng sẽ chịu áp lực lớn. Hãy đảm bảo rằng dây dẫn của bạn có thể chịu được nhiệt độ cao; nếu không, lớp cách điện trên dây dẫn sẽ bị hỏng.
Và nếu bạn đưa điện áp lên mức gần giới hạn cho phép, hãy kiểm tra kỹ hệ thống làm mát của mình. Nếu vỏ máy bị mềm đi, bạn sẽ gặp rắc rối ngay thôi.