芯片实验室用干燥加热器

在晶圆加工过程中，光刻之前的干燥步骤对最终成品率有着决定性影响，而且这种影响相当显著。光刻胶残留物、水渍、边缘缺陷等问题，往往都可以追溯到模板温度的不稳定、升温控制不准确，或是设备自身产生的颗粒物。我们设计的芯片级干燥加热器就是为了消除这些影响因素。 关键性能指标 该加热器采用短波红外技术，结合石...