为何我们放弃热风加热，转而使用红外线加热？
如果你仍在使用热风循环方式来进行半导体加工，那无异于在等待中浪费时间。
热风加热依赖于对流原理：先加热空气，再期望空气将热量传递给待加工的部件。这个过程非常缓慢，而且还会出现令人烦恼的延迟现象——你必须一直等待，直到热量能够传达到目标位置。
而红外线加热则完全不同。它无需经过中间介质，而是直接将电磁波传递到材料上。这种方式更为高效、迅速。
时间就是金钱
在洁净室里，时间至关重要。每多等待一秒，就意味着预算的流失。
使用热风加热时，升温过程极为缓慢。而使用红外线加热的话，只需几秒钟就能达到目标温度。不必再等待空气的温度上升，这样一来，生产流程就能更快地推进，同时机器的体积也可以更小，因为无需庞大的热空气储存装置。
设计的细节
我们可不是简单地把灯具放进箱子里就行。我们会用高品质的不锈钢来制造外壳，但真正关键的是其几何结构设计。我们精心设计金属结构，确保红外线能准确反射到工件上。这样，热量就能集中在工件上，而不会散失到其他地方。
不过，这里有个问题：物理学上的限制。不锈钢和石英灯在受热时的膨胀率并不相同。如果固定得太紧，灯具就可能在快速升温时破裂。这真是棘手的问题。
为了解决这个问题，我们在固定装置中设计了“浮动结构”，让材料有足够的空间来适应温度变化，从而避免损坏。
缺点
当然，红外线加热并非万能的。它也有自己的局限性。最大的问题是“视线问题”。由于是辐射热，如果工件的某个部分被遮挡，那么该部位就无法接收到热量，仍然保持低温状态。
为了解决这个问题，不能仅仅把灯具放置好就万事大吉。必须仔细调整角度，确保热量能够覆盖晶圆的每一个角落。虽然需要更多规划，但由此带来的效率提升却是值得的。