
停止让设备过热了
如果你曾在半导体工厂工作过,那么你就知道其中的麻烦了。你需要将晶圆或基底加热到极高的温度,但同时又不想让其他设备也被加热到过高的温度。
传统的辐射式加热器其实很不理想,因为它们会将热量散布到各个方向。很快,设备的内壁就会变得过热,进而导致安全装置自动启动,而那些敏感的部件也会受到损害。这真是个麻烦的问题。
为了解决这个问题,我们采用了定向型超纯红外灯。
将热量精准地传递到目标位置
可以把它想象成灯泡和手电筒的区别。灯泡会向四周发光,而我们则利用短波红外技术,通过调整灯丝的结构并添加内部反射器,将热量直接传递到目标位置。这样一来,能量就只会作用于工件上,而设备的墙壁则不会过热。很简单吧?
纯度问题以及相关的风险
在真空环境中工作时,污染是最大的敌人。哪怕是一点点的杂质都可能毁掉一切。因此,我们使用高纯度的合成石英作为灯罩材料,这样就不会有金属离子的存在,也不会出现意外情况。
此外,这类灯的响应速度也非常快,只需几秒钟就能达到所需的温度。不过,有一点需要注意:功率密度很重要。如果把过多的功率集中在一个小面积上,那么连接器就会承受不了这么大的负荷。如果冷却系统无法跟上灯的发热速度,那么插座就可能会被烧坏。
在实际应用中的优势
最棒的是,设备的内壁不再起到散热的作用,而变成了一个中性区域。这样一来,当工作人员需要进入设备进行维护时,设备的安全性就会大大提高。同时,工厂的冷水系统也不必再承受那么大的压力。
不过,还是有一个问题:对准度非常重要。如果灯的角度偏差几度,那么热量就无法准确传递到目标位置,反而会浪费在墙壁上。所以,必须确保灯的角度精确无误,才能发挥其作用。