真空チェンバー用赤外線ヒーター

なぜ真空加熱には金メッキされた反射器が使われるのか？ もし、真空チャンバー内でウェーハの処理をしたことがある人なら、エネルギーが無駄に消費されることの苦労をご存知でしょう。加熱源から出る多くのエネルギーが、単にチャンバーの壁に吸収されてしまいます。これは電力の無駄遣いであり、さらに重要なのは、時間...