와이퍼 건조 오븐의 가열 요소
서론 웨이퍼 건조용 오븐은 매우 까다로운 장비입니다. 빠르게 열을 가할 수 있으면서도 그 온도를 일정하게 유지해주며, 어떤 경우에도 오염이 발생하지 않아야 합니다.
그래서 저희는 고순도 텅스텐 필라멘트 주위에 최고급 석영을 둘러서 이러한 요구사항을 충족시키는 장치를...
엘립소미터 웨이퍼 프로브 히터
웨이퍼를 검사하거나 레지스트를 건조하는 과정에서 발생하는 온도 변동은 단순히 사양을 벗어나게 만드는 것뿐만 아니라, 결국 제품의 수율까지 저하시킵니다. 우리는 설비가 최대 부하 상태에서도 온도가 허용 범위 내로 유지될 수 있도록 엘립소미터용 웨이퍼 프로브 히터를 개발...