なぜファブの照明装置には石英製のシールドが必要なのか？ ファブで使われる赤外線加熱ランプについて話しましょう。これらはウェーハ処理において不可欠な存在ですが、問題点があります。その熱の多くが単に無駄に消えてしまうのです。もし省エネを目指したいのであれば、実際にウェーハにどれだけの熱が伝わっているの...

バスルームの温度を適切に調整する方法 防水型の赤外線ランプを選ぶとき、できるだけ高いワット数のものを選びたくなります。しかし、実際にはそうではありません。重要なのは、部屋の大きさに合わせて適切な暖房力を選ぶことです。 自分のバスルームを考えてみてください。部屋中には蒸気が充満しており、足元の床は冷...

浴室用赤外線ヒーターを安全かつ乾燥した状態に保つ方法 正直言って、蒸気や水が飛び散る部屋に高電圧のヒーターを設置するのは、まるで火遊びのようなものです。水は電気を伝えやすい性質があります。もし絶縁処理に少しでも手抜きがあれば、短絡や深刻な接地故障が起きる可能性があります。 安全を確保するためには、...

ヒーターがバイオセンサーを台無しにするのを防ごう もし、何時間もかけてバイオセンサーを作っているのに、硬化処理中にわずかなほこりが基材に付着してしまい、全てがダメになってしまった経験があるなら、その苦悩はよくわかるでしょう。1マイクロメートルほどの微小な粒子でも、全体が使い物にならなくなってしまい...

ウェーハ処理における熱の無駄遣いを止めよう 正直言って、クリーンルーム内で電力を無駄にするのは最悪のことです。シリコンウェーハを加熱する際には、その赤外線エネルギーがすべて基板に届くようにしたいものです。エネルギーが漏れ出してオーブン本体が巨大なラジエーターのようになってしまうのは避けたいのです。...

暖房器具を使い捨てのゴミのように扱うのはやめましょう。 ほとんどの防滴型暖房器具は、基本的に密閉された箱のような構造になっています。確かに、これによって水が中に入らないのですが、メンテナンスが非常に面倒になります。 例えば、5年経過して加熱素子が壊れてしまったとします。修理するには、本体全体を分解...

バスルーム用のヒーターのワット数を適切に設定する方法 誰も、熱いシャワーから出てきてすぐに寒いバスルームに入るのは嫌ですよね。それは朝の最悪の瞬間です。しかし、赤外線ヒーターを選ぶ際には、バランスを考える必要があります。暖かくしたいけど、電力を無駄にしてしまったり、バスルームをサウナのようにしてし...

MEMSウェーハをより効率的に乾燥させる方法（そしてエネルギーも節約できる） MEMSセンサーウェーハを乾燥させるときは、まるで綱の上を歩くような状況です。水分を一切残さないようにしなければなりませんが、力を入れすぎると、その微細な構造が壊れてしまいます。 従来の方法は対流式のオーブンを使うことで...

ウェーハを清潔に保つために：赤外線ランプの故障に関する真実 正直に言うと、半導体製造ラインで赤外線ランプが壊れると、それは本当に大変なことです。単に5分以内に交換可能な部品が壊れるだけではありません。ガラスの破片や化学物質がウェーハの上に降り注ぎます。一度ひび割れが入ると、生産効率が激しく低下して...

赤外線ヒーターを本当にスマートに使う方法 ほとんどのヒーターは、少し遅いです。空気を温めるのに時間がかかり、部屋全体が暖まるまで待たなければなりません。 しかし、赤外線ヒーターは違います。空気を温める必要がないのです。熱が直接肌や家具に伝わります。まるで寒い日に日差しの中にいるような感覚です。スイ...

なぜ、熱風を使わずに赤外線を利用するのか？ もし今でも半導体の加工に熱風を使っているのであれば、それはまるで待つしかない状態です。 考えてみてください。熱風は対流に頼っています。空気を加熱し、その空気が部品を温めるのを待つわけです。これは非常に遅い方法です。熱が届くまで、ただ立ち尽くして待つしかあ...

熱の無駄遣いを止めよう：なぜ金メッキされた反射板が重要なのか ウェーハ製造プロセスにおいて、エネルギーの無駄遣いは単なるコストの問題ではありません。それは、プロセスが制御不能であることの兆候です。 一般的な赤外線ランプを考えてみてください。これらはあらゆる方向に熱を放出します。つまり、消費される電...

なぜほとんどのバスルーム用ヒーターが壊れてしまうのか（そして私たちがどう対処したか） 多くの人は、バスルーム用ヒーターというのは単に空気を温めるものだと思っています。しかし、シャワーを浴びた後、部屋がまるで湿った洞窟のように感じることがあるでしょう。それは、ヒーターが本来の機能を果たしていない証拠...

なぜバスルーム用のヒートランプはすぐに壊れてしまうのか？（そして、実際に効果的なのは何か） 昔からあるようなバスルーム用のヒートランプは、ちょうど使いたい時に限ってすぐに壊れてしまうことが多いですよね。本当にイライラします。熱いシャワーを浴びた後にスイッチを押しても、何も起こらない。最悪の場合は、...

ゴールドコーティングされたツインチューブ式IRランプを使えば、適切な熱負荷を実現できます。 半導体製造工場で働いている方なら、ガスを除去したり、ウェハを硬化させるために必要な正確な温度条件を得るのがいかに難しいかご存知でしょう。これはバランスを取る必要がある作業です。私たちの経験では、ツインチュー...