ミラーヒーター付きバスルーム
シャワーを出て、まだ冬の寒さが残るバスルームに入るのは、単に不快なだけではありません。筋肉が緊張し、ストレスも増え、本来簡単な日常の作業が大変なものになってしまいます。ミラータイプのヒーターなら、必要な場所に赤外線の温かさを届けることができ、その冷たさを穏やかで心地よい暖かさに変えてくれます。電源...
業務用ファンヒーター
寒さが厳しくなっても、工房の営業は止まりません。もし暖房が追いつかなければ、工具がうまく動かなくなったり、材料が冷えてしまったりして、作業が途中で中断されてしまいます。赤外線ヒーターを適切な場所に設置することは、推測に頼るものではなく、単純で実用的な計算によって決められます。
技術的に重要な点 産...
遠赤外線ヒーター
曇った鏡。シャワーを浴びた後、足を踏み出すと痛む床のタイル。バスルームにおいては、暖かさは贅沢品ではなく、必要不可欠なものです。そして、空気中に常に湿気があるため、選ぶヒーターは単に暖かいだけでなく、日々安定して動作し続けることが求められます。
ヒーターの内部構造が重要 遠赤外線ヒーターは、空気を...
近赤外線 NIR 発光球
製造現場において、フォトレジストの焼成時に生じる温度変動は、単なる理論上の問題ではありません。実際には、線幅のばらつきや歩留まりの低下として表れます。従来のホットプレートでは、温度の急激な変化を抑えるのは難しく、特にウェハの端付近の局所的な不均一性を解消することはできません。NIRエミッターは、こ...
チップ上のラボ用乾燥ヒーター
ウェーハの製造工程において、リソグラフィーを行う前の乾燥工程は、歩留まりに大きな影響を与えます。フォトレジストの残留物や水分の問題、端の不具合などは、ほとんどの場合、プレートの温度変動や温度制御の不良、あるいは装置自体から発生する粒子に起因しています。私たちは、こうした問題を解決するために...
壁掛け型暖炉
季節性のアレルギーに悩む人にとって、冬場の暖房は、快適さと不快感の間で選択を迫られるようなものです。ファン式の暖房機はほこりを舞い上がらせ、空気中の水分をすべて奪ってしまい、結果的に副鼻腔や喉が痛くなります。一方、壁掛け式の電気暖炉は、赤外線によって直接人や物を温めるため、周囲の空気を温めるわけで...
3相電気ヒーター
寒い夜には、エアコンの針がほとんど動かないのに電気代だけがかさんでしまうようなヒーターは最悪です。重要なのは、赤外線が快適かどうかではなく、実際に電力を節約できるかどうかです。
効率的な赤外線技術を搭載した三相式電気ヒーターを使えば、従来の対流式ヒーターと比べて、エネルギー消費量が最大30%も削減...
車用ヒーター ポータブル
ヨーロッパの2,000世帯で実際に使用してみると、冬場によく問題となるのが、車の暖機に時間がかかりすぎることや、エアコンの効きが悪いことでした。座席が冷たく、窓には結露が発生し、キーを回した瞬間に冷たい空気が吹き付けてきます。そうした日々の悩みを解決するために、このポータブル型の車用ヒーターを作り...
携帯用電気ヒーター
工場の現場では、機械がフルパワーで稼働しています。私たちが製造するすべての電気ヒーターは、テストベンチ上で最大出力で動作し、状態が安定するまでそのままにされます。これにより、不具合を防ぎ、実際に必要な時に確実に暖かさを提供することができます。
内部で何が起こっているのか 私たちは赤外線放射熱を利用...
ファブ用赤外線加熱モジュール
ファブの現場では、焼成工程は単なる一時停止ではなく、工程の流れにおける重要な境界点です。ソフトベイクとハードベイクは、寸法管理や溶剤の除去、フォトレジストの密着性を決定づけます。もしヒートプレートの位置が狂ったり、設定温度がウェーハの動きに追いつかなくなったりすると、歩留まりが低下してしまいます。...
洗浄用防水赤外線ランプ
洗浄工程においては、水跡やレジストの状態が不安定になることは理論上の問題ではなく、実際に製品の品質を損なう要因となります。そのため、ウェハーの乾燥やそれに続く熱処理工程での不確実性を排除するために、防水仕様の赤外線ランプを開発しました。
内部で何が重要か 私たちは、密閉されたケース内で短波長の赤外...
エリプソメトリウェーハープローブヒーター
ファブの現場では、ウェーハのプロービングやレジストの焼成時に温度が変動すると、仕様通りに製造が進まず、最悪の場合は製品の歩留まりが低下してしまいます。そこで、当社では、ラインがフル稼働している状態でも、温度を許容範囲内に保つためのエリプソメトリー用ウェーハプローブヒーターを開発しました。
技術的に...
ウェーハ薄化加熱赤外線
ファブフロアにおいて、ウェーハの薄化工程は熱に対して非常にセンシティブな作業である。赤外線加熱中の熱分布が不均一だと、ウェーハの変形を引き起こすだけでなく、反り、フォトレジストの応力、リソグラフィやパッケージング工程で後に顕在化する微細な亀裂などの不良発生要因となり、歩留まり損失につながる。熱源は...
独立型暖炉ヒーター
パティオでの夕方を過ごそうとしたとき、熱を感じるが、それは和らげるというよりは刺激が強い。多くの赤外線ヒーターの場合、問題は温度ではなくスペクトルにある。短波の強いエネルギーは肌を締め付ける感覚を与え、これは屋外でのリラックスとは逆の効果となる。
技術的に重要なポイント この自立型赤外線ヒーターは...
省エネ電気ヒーター
涼しい夜の屋外や肌寒い作業場は、実際にその空間で過ごしたい時間を削ってしまうことがあります。空気は冷たくなり、快適さは消え、突然仕事やリラックスが面倒に感じられます。私たちは、従来のヒーターによる騒音、煙、そして思わぬ運用コストなしで、これらのエリアを利用可能に保つために、省エネの電気赤外線ヒータ...